quang khắc chùm điện tử Tiếng Anh là gì

electron-beam lithography

• quang sắp chữ điện tử:    Từ điển kỹ thuậtelectronic photocomposition
• mạch logic quang điện tử:    Từ điển kỹ thuậtLĩnh vực: toán & tinopto-electronic logic
• cột chùm điện tử:    Từ điển kỹ thuậtLĩnh vực: điện tử & viễn thôngelectron beam column